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產品中心導熱儀TLF-熱反射法薄膜導熱儀TF-LFA熱反射法薄膜導熱儀
產品簡介：熱反射法薄膜導熱儀 TF-LFA L54采用頻域熱反射（FDTR）非接觸技術，專為精確表征納米至微米級薄膜材料的熱物性（導熱系數、熱擴散系數等）而設計。尤其適用于半導體、熱電、LED等領域的功能性薄膜。技術優(yōu)良，無需樣品熱容和密度已知，即可實現對薄膜及界面熱阻的完整評估。
產品型號：TF-LFA
更新時間：2026-01-05
廠商性質：生產廠家
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薄膜是指厚度從納米到微米范圍的表面材料。由于厚度和溫度的影響，它們的熱物理性質與塊狀材料差別很大。薄膜通常用于半導體、熱電材料、相變存儲器、發(fā)光二極管、燃料電池和光存儲介質等行業(yè)中，這些行業(yè)應用會在基底上沉積一層薄膜，以賦予設備特定的功能。
頻域熱反射導熱儀 TF-LFA，是林賽斯與德國亞琛工業(yè)大學合作研發(fā)的，是在時域熱反射法的基礎上發(fā)展起來的新探測手段，FDTR（頻域熱反射）是一種在頻域內對薄膜熱性能進行非接觸表征的技術。使用了波長為 532 nm 的連續(xù)激光（探測激光），同時使用不同波長（405 nm）的調制泵浦激光對樣品進行加熱。利用熱擴散傳輸模型對頻域響應進行建模，可以確定薄膜的導熱系數、體積熱容、熱擴散系數、傳熱效率和邊界導熱系數。
| 類型 | TF - LFA L54 |
| 樣品尺寸： | 2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之間的任意形狀 |
| 薄膜樣品： | 10 nm - 20 µm * （取決于樣品） |
| 溫度范圍： | RT， RT - 200 ℃ / 500 °C， 4'' 晶圓樣品支架（僅限于室溫） |
| 氣氛： | 惰性、氧化或還原，真空度可達 10E-4 mbar |
| 熱擴散系數測量范圍： | 0.01 - 1200 mm2/s （取決于樣品） |
| 泵浦激光： | 泵浦激光器（405 nm，300 mW，調制頻率高達 200 MHz） |
| 探測激光： | CW Laser（532 nm，25 mW） |
| 檢測器： | Si 基光電探測器，有效直徑：0.2 mm，帶寬：DC - 400 MHz |
| 軟件： | 包含使用多層分析計算熱物理性質的軟件包 |
| * 實際厚度范圍取決于樣品 |
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